Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Electrical properties of AlN thin film deposited by asymmetric bipolar pulsed dc reactive sputtering

비대칭 펄스 직류 반응성 스퍼터링으로 증착된 AlN 박막의 전기적 특성

  • 김주형 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터, 한양대학교 재료공학과) ;
  • 이시형 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 이전국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 안진호 (한양대학교 재료공학과)
  • Published : 2000.10.20
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Abstract

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