Preparation of PLT thin films by MOCVD using ultra spraying and effects of seeding layers

초음파 분무 MOCVD법에 의한 PLT박막의 제조 및 Seeding layer의 영향

  • 박민규 (경북대학교 무기재료공학과) ;
  • 박병옥 (경북대학교 무기재료공학과)
  • Published : 2000.10.20