Stack형 BST Capacitor 공정개발

Process Development of Stacked BST Capacitor

  • 홍권 (현대전자 메모리연구소 선행공정 3팀) ;
  • 최형복 (현대전자 메모리연구소 선행공정 3팀) ;
  • 송창록 (현대전자 메모리연구소 선행공정 3팀) ;
  • 조호진 (현대전자 메모리연구소 선행공정 3팀) ;
  • 유용식 (현대전자 메모리연구소 선행공정 3팀) ;
  • 노재성 (현대전자 메모리연구소 선행공정 3팀) ;
  • 김정태 (현대전자 메모리연구소 선행공정 3팀) ;
  • 황정모 (현대전자 메모리연구소 선행공정 3팀)
  • 발행 : 2000.04.21