Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2000.04a
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- Pages.152.2-152.2
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- 2000
Process Development of Stacked BST Capacitor
Stack형 BST Capacitor 공정개발
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Hong, Gwon
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- Choe, Hyeong-Bok ;
- Song, Chang-Rok ;
- Jo, Ho-Jin ;
- Yu, Yong-Sik ;
- No, Jae-Seong ;
- Kim, Jeong-Tae ;
- Hwang, Jeong-Mo
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홍권
(현대전자 메모리연구소 선행공정 3팀) ;
- 최형복 (현대전자 메모리연구소 선행공정 3팀) ;
- 송창록 (현대전자 메모리연구소 선행공정 3팀) ;
- 조호진 (현대전자 메모리연구소 선행공정 3팀) ;
- 유용식 (현대전자 메모리연구소 선행공정 3팀) ;
- 노재성 (현대전자 메모리연구소 선행공정 3팀) ;
- 김정태 (현대전자 메모리연구소 선행공정 3팀) ;
- 황정모 (현대전자 메모리연구소 선행공정 3팀)
- Published : 2000.04.21
Abstract
Keywords