한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)
- 한국세라믹학회 2000년도 춘계총회,특별강연,심포지움,연구발표회
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- Pages.143.2-143.2
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- 2000
새 전구체와 전구체 공급방법을 이용한 알루미나 박막의 화학기상증착공정 및 산화기체의 영향
The Chemical Vapor Deposition Process of Alumina Thin Films by New Precursor and Liquid Delivery System and The Dependence of Oxidant Gases
- 발행 : 2000.04.21