화염가수분해를 이용한 실리카막의 고밀화 연구

  • 김태흥 (한국전자통신연구원, 연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 심재기 (한국전자통신연구원) ;
  • 신장욱 (한국전자통신연구원) ;
  • 박상호 (한국전자통신연구원) ;
  • 성희경 (한국전자통신연구원) ;
  • 윤기현 (연세대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2000.04.21