한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

FRAM 고집적 메모리를 위한 stack형 capacitor에서의 Ir,Ru의 diffusion barrier 특성

Characteristics of Ir, Ru as diffusion barrier of stacked capacitor for high density non-volatile memory

  • 한귀영 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 김호기 (한국과학기술원 재료공학과)
  • 발행 : 2000.04.21
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