MFMIS구조의 비휘발성 메모리에서의 $Pt/Mg_2TiO_4/Si$ 위에 증착된 PZT박막의 특성연구

Characterization of PZT Thin Film on $Pt/Mg_2TiO_4/Si$ for MFMIS Nonvolatile Memory

  • 염정훈 (계명대학교 재료공학과) ;
  • 이춘호 (계명대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2000.04.21