Langasite($La_3Ga_5SiO_{14}$)의 화학적, 기계적 연마 방법과 습식 시작

Chemical Mechanical Polishing and Wet Etching for Langasite single crystal

  • 장민철 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 오근호 (한양대학교 세라믹공정연구센터)
  • 발행 : 2000.04.21