Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2000.04a
- /
- Pages.72.2-72.2
- /
- 2000
Chemical Mechanical Polishing and Wet Etching for Langasite single crystal
Langasite($La_3Ga_5SiO_{14}$ )의 화학적, 기계적 연마 방법과 습식 시작
Abstract
Keywords