한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

Alumina가 첨가된 슬러리에 의한 $La_3Ga_5SiO_{14}$의 화학적기계적 연마 특성

Characterization of $La_3Ga_5SiO_{14}$ CMP with Alumina Added Slurries

  • 장영일 (고려대학교 재료금속공학부, 세라믹 공정연구센터 (CPRC)) ;
  • 윤인호 (고려대학교 재료금속공학부, 세라믹 공정연구센터 (CPRC)) ;
  • 임대순 (고려대학교 재료금속공학부, 세라믹 공정연구센터 (CPRC))
  • 발행 : 2000.04.21
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