PZT박막캐패시터의 전기적성질과 응력에 관한 연구

A Study on Electrical properties and stress of PZT Film capacitors

  • 임왕규 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 안정렬 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이재찬 (성균관대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2000.04.21