Growth Characteristics of yttria stabilized zirconia thin films by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition using Ultrasonic nebulization

초음파분무 MOCVD을 이용한 이트리아 안정화 지르코니아 박막의 성장 특성

  • 신호식 (계명대학교 재료공학과) ;
  • 이춘호 (계명대학교 재료공학과)
  • Published : 2000.04.21