MOD법에 의한 $Ba(Mg_{1/3}Ta_{2/3})O_3$ 유전체 박막의 제조 및 물성연구

Preparation and Characterization of $Ba(Mg_{1/3}Ta_{2/3})O_3$ thin films by MOD

  • 조범준 (고려대학교 통신시스템 기술학과) ;
  • 남산 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 김영식 (고려대학교 전파공학과) ;
  • 변재동 (고려대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2000.04.21