한국전자현미경학회:학술대회논문집
- 한국현미경학회 2000년도 제31차 추계학술대회
- /
- Pages.52-55
- /
- 2000
Ti/Al 구조에서 FE-(S)TEM을 이용한 계면반응층의 평가
Analysis of Interface Layer by FE-(S)TEM in the Ti/Al Structure
-
양준모
(현대전자 메모리(연) 분석개발팀)
;
- 최진태 (현대전자 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 성해숙 (현대전자 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 박태수 (현대전자 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 이태권 (현대전자 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 백태선 (현대전자 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 박주철 (현대전자 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 이순영 (현대전자 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 이석재 (현대전자 메모리(연) 선행공정5팀)
-
Yang Jun-Mo
;
- Choe Jin-Tae ;
- Seong Hae-Suk ;
- Park Tae-Su ;
- Lee Tae-Gwon ;
- Baek Tae-Seon ;
- Park Ju-Cheol ;
- Lee Sun-Yeong ;
- Lee Seok-Jae
- 발행 : 2000.11.01