Metal Induced Crystallization에 의한 저온 Poly-Si 성장

  • 박규호 (LG전자기술원 물성연구실) ;
  • 정영우 (LG전자기술원 물성연구실) ;
  • 이정수 (LG전자기술원 물성연구실) ;
  • 박원규 (LG Philips LCD 안양연구소)
  • 발행 : 2000.11.01