TEM Analysis of recording marks of phase change rewritable disk

TEM을 이용한 상변화형 디스크의 기록형상 분석

  • 박윤창 (삼성종합기술원 분석연구실) ;
  • 백현석 (삼성종합기술원 분석연구실) ;
  • 송세안 (삼성종합기술원 분석연구실) ;
  • 김은구 (삼성전자 광Pick-Up 개발그룹)
  • Published : 2000.05.01