Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Micromolding process using PDMS for refractive microlens

Micromolding process에 의한 refractive microlens의 제작

  • Ahn, Si-Hong (School of Electrical Engineering, Seoul National University) ;
  • Lee, Sang-Ho (School of Electrical Engineering, Seoul National University) ;
  • Kim, Min-Soo (School of Electrical Engineering, Seoul National University) ;
  • Kim, Yong-Kweon (School of Electrical Engineering, Seoul National University)
  • Published : 2000.11.25
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Abstract

Micromolding process에 의한 refractive microlens array를 제작한다. PDMS, UV curable acryl adhesive 등 여러 가지 polymer 재료를 시도한다. 기존의 공장에서 주로 사용되던 etched bulk silicon, electroplated metal 등의 구조물이 아닌, polymer 구조물을 mold로 사용한다. Micromolding process에 의해 제작되는 microlens의 특성은 mold의 험상에 의해 결정된다. Reflow 공정에 의해 제작된 photoresist microlens는 매우 우수한 표면 특성과 형상 대칭성을 보여주므로, microlens의 mold로서 사용하기에 적합하다.

Keywords