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플라즈마 화학공정을 이용한 유해대기오염물질(HAP$_{s}$ 또는 VOC$_{s}$ ) 처리기술은 기존의 촉매연소, 소각 및 흡착기술등에 비하여 낮은 초기 투자비, 여러가스의 동시처리, 소형화 또는 이동 배출원에 대한 적용이 가능하며, 대상가스의 종류나 발생량등에 따라 여러 전원(AC, Pulse, DC)을 이용한 기술개발이 가능하여 많은 연구가 진행되고 있다.$^{(1-4)}$ (중략)