한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)
- 한국광학회 2000년도 제11회 정기총회 및 00년 동계학술발표회 논문집
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- Pages.176-177
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- 2000
위상측정 간섭계를 이용한 sub-${\AA}$ 급 표면거칠기 측정
Sub-${\AA}$ surface roughness measurement using phase-measuring interferometer
초록
고분해능 분광학, 레이저 주파수 안정화, 단원자 레이저, 레이저 자이로 등의 다양한 분야에서 널리 응용되는 저손실, 고반사율 반사경 제작은 고품질의 반사경 기판 사용을 전제로 하고 있다. 1
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