For Implementation of Real Time Optical Network Optimization and Application of Vertical Asymmetric Polymer-Optical Coupler

실시간 광전송망 구현을 위한 수직형 비대칭 폴리머 광 결합기의 최적화 및 응용

  • 이소영 (경북대학교 전자전기공학부) ;
  • 권재영 (경북대학교 전자전기공학) ;
  • 이종훈 (경북대학교 전자전기공학) ;
  • 김영조 (경북대학교 전자전기공학) ;
  • 신미경 (경북대학교 전자전기공학) ;
  • 김상호 (경북대학교 전자전기공학) ;
  • 송재원 (경북대학교 전자전기공학부)
  • Published : 2000.02.01

Abstract

집적광학 회로의 구성요소 중 광 결합기는 파장에 따른 채널간 결합기로써 WDM은 물론 광 스위칭 소자로서 매우 중요한 위치에 있다. 더우기 수직형의 구조를 갖는 광결합기가 새로이 제안되면서 결합 길이를 줄여 전체 소자길이를 감소시킴으로써 고집적화는 물론, 도파로를 진행하는 동안 겪게되는 도파 손실을 최소화하려는 움직임 또한 활발하다. 그러나 이들 수직형 광결합기는 결합효율을 높이기 위하여 대부분 상 하부 도파로의 구조가 동일한 대칭형으로 제작됨에 따라, 이들은 매우 까다롭고 복잡한 공정을 갖게된다. 또한 이러한 공정의 복잡성과 두 도파로의 대칭성을 위한 반복작업은 오히려 제작공정의 불완전함으로 인하여 이론상의 이상적 결합에 비하여 효율이나 성능 면에서 상당한 저하를 가져오게 된다. 최근 연구되고있는 대부분의 폴리머를 이용한 광 결합기 역시 대칭형 구조를 가지며 $O_2$ RIE(Reactive ion etching) 건식 식각법으로 제작된다.$^{[1]}$ (중략)

Keywords