Proceedings of the Korean Society of Laser Processing Conference (한국레이저가공학회:학술대회논문집)

Korean Society of Laser Processing (한국레이저가공학회)
권호 표지

Patterning of micro copper lines using focused Ar+ laser

집속 아르곤 이온 레이저 빔을 이용한 미세 구리 패턴의 형성

  • 이홍규 (인하대학교 전기공학과) ;
  • 이천 (인하대학교 전기공학과)
  • Published : 2000.06.01
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Abstract

Keywords