한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2000년도 추계학술발표회 초록집
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- Pages.22-22
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- 2000
전기-수력학적 분무(Electro-Hydrodynamic Spray)를 이용한 MOCVD에 의한 BaO, SrO, $TiO_2$ 박막의 특성 연구
초록
DRAM의 고접적화에 따라 기존의 반도체 공정에서 사용중인 여러 가지 기술들이 대부분 그 한계를 보이고 었으며, 대표적인 것이 캐퍼시터 형성기술이다. 따라서 1G DRAM급 이상의 초고집적 회로를 실용화하기 위해서 유전율이 높은 BST (
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