한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

UBM 스퍼터링법을 이용한 저온 다결정 실리콘 박막 합성에 관한 연구

A Study on synthesis of poly-Si thin films at low temperature by unbalanced magnetron sputtering method

  • 박헌규 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 남경훈 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 한전건 (성균관대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2000.11.01
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Abstract

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