한국산학기술학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KAIS Fall Conference)

한국산학기술학회 (The Korea Academia-Industrial cooperation Society)
권호 표지

Cu를 배선용으로 사용하기 위한 ZrN barrier metal 연구

  • 조병철 (호서대학교 신소재공학과) ;
  • 김좌연 (호서대학교 신소재공학과) ;
  • 윤의중 (호서대학교 제어계측공학과)
  • 발행 : 2000.04.01

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