대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)
- 대한전자공학회 2000년도 하계종합학술대회 논문집(2)
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- Pages.107-110
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- 2000
미세변위 측정을 위한 턴널링소자의 제조
fabrication of the tunneling devices for the minimal displacement sensing
초록
In this experiment, we fabricated pyramid-type silicon tunneling devices in which a tunneling current flow between a micro-tip and Si
키워드