한국결정학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korea Crystallographic Association Conference)

한국결정학회 (Korean Crystallographic Association)

권호 표지

Cz-Si에서 결정 인상 속도 변동의 효과 (1) - 성장 결함의 형성 거동 -

Effect of pulling rate variation in Cz-Si(1) - formation behavior of grown-in defects -

박봉모 (LG 실트론) ;
서경호 (LG 실트론) ;
김건 (LG 실트론)

Park, B.M. (LG Siltron Inc) ;
Seo, G.H. (LG Siltron Inc) ;
Kim, G. (LG Siltron Inc)

발행 : 2000.05.01

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