마이크로머시닝 기술을 이용한 밀리미터파 Cavity 공진기 설계

Millimeter Wave Cavity Resonators Using Micromachining Technique

  • 송기재 (광운대학교 RFIC 연구 및 교육센터/미션 테크놀로지 연구센터) ;
  • 윤법상 (광운대학교 RFIC 연구 및 교육센터/미션 테크놀로지 연구센터) ;
  • 배중선 (광운대학교 RFIC 연구 및 교육센터/미션 테크놀로지 연구센터) ;
  • 박경열 (광운대학교 RFIC 연구 및 교육센터/미션 테크놀로지 연구센터) ;
  • 이현태 (광운대학교 RFIC 연구 및 교육센터/미션 테크놀로지 연구센터)
  • 발행 : 2000.11.01

초록

본 논문은 마이크로머시닝 기술을 이용한 밀리미터파 대역의 공진기 설계를 제시한다. 밀리미터파 대역에서 3D 설계 tool인. HP HFSS ver. 5.5를 사용하였다. One-port cavity 공진기는 공진 주파수가 39.34 GHz., 반사 손실은 14.5 dB, 그리고, loaded Q (Q$_1$)는 150 을 보인다. Two-port cavity 공진기의 경우, 공진 주파수는 39GHz이고, 삽입 손실과 반사 손실은 각각 4.6 dB 와 19.8 dB. 그리고 loaded Q와 unloaded Q는 각각 44.3과 107로 측정되었다.

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