한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2000년도 하계학술대회 논문집
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- Pages.499-502
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- 2000
RF-magnetron sputtering 법을 이용한 개스 센서용 $\alpha$ -$Fe_{2}O_{3}$ 박막의 제조 및 특성
Fabrication and Properties of $\alpha$ -$Fe_{2}O_{3}$ Thin Films Prepared by RF-magnetron sputtering method
초록
In this study,