Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study of the Effects of Ni Catalytic Layer Thickness and $NH_3/C_2H_2$ Ratio on the morphology of PECVD-grown Carbon Nano Tube

PECVD법에 의해 제조된 탄소 나노 튜브의 촉매층(Ni) 두께와 $NH_3/C_2H_2$유량비에 따른 성장 양상의 변화

  • 임혁 (서울대학교 재료공학부 전자재료연구실) ;
  • 최통령 (서울대학교 재료공학부 전자재료연구실) ;
  • 김병동 (서울대학교 재료공학부 전자재료연구실) ;
  • 김용철 (LG전자 디지털 디스플레이 연구소) ;
  • 주승기 (서울대학교 재료공학부 전자재료연구실)
  • Published : 2000.11.01
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Abstract

Keywords