Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2000.11a
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- Pages.97-97
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- 2000
Direct bonding of Si(100) $\mid$ NiSi $\mid$ Si(100) wafer pairs using nickel silicides
니켈실리사이드를 이용한 실리콘 기판쌍의 직접접합
Abstract
Keywords