Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Development of SMD 32.768kHz tuning fork-type Crystals using Photolithography and Etching Processes

포토 리소그라피와 에칭 공정을 사용한 SMD 32.768kHz tuning fork 형상의 수정 진동자 개발

  • 이성규 (삼성전기(주) 종합연구소 재료연구센터) ;
  • 나덕주 (삼성전기(주) 종합연구소 재료연구센터) ;
  • 정철환 (삼성전기(주) 종합연구소 재료연구센터) ;
  • 이종필 (삼성전기(주) 종합연구소 재료연구센터) ;
  • 문양호 (삼성전기(주) 종합연구소 CAE) ;
  • 김홍욱 (삼성전기(주) 종합연구소 CAE) ;
  • 양두열 (삼성전기(주) 종합연구소 CAE) ;
  • 윤정호 (삼성전기(주) 종합연구소 CAE)
  • Published : 2000.11.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords