A Study of Properties for Zrconium-Silicate Gate Dielectric

Gate Dielectric을 위한 Zrconium-Silicate에 관한 특성 연구

  • 김태호 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 민형섭 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 구준모 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 김지영 (국민대학교 금속재료공학부)
  • Published : 2000.11.01