Study of Au/PZT/$TiO_2$/Nitride/Si (MeFINS) Capacitors for NDRO FeRAM

NDRO형 FeRAM용 MeFINS 구조의 캐퍼시티 연구

  • 민형섭 (국민대학교 금속재료공학과) ;
  • 김태호 (국민대학교 금속재료공학과) ;
  • 구준모 (국민대학교 금속재료공학과) ;
  • 김지영 (국민대학교 금속재료공학과)
  • Published : 2000.11.01