Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Enhanced characteristics of Molybdenum field emission arrays under laser irradiation

  • 송병권 (한양대학교 물리학과) ;
  • 서도석 (한양대학교 물리학과) ;
  • 남창우 (한양대학교 물리학과) ;
  • 홍진표 (한양대학교 물리학과) ;
  • 김채옥 (한양대학교 물리학과) ;
  • 차승남 (삼성종합기술원, Material and Device Research Center, display Lab) ;
  • 이항우 (삼성종합기술원, Material and Device Research Center, display Lab) ;
  • 박남신 (삼성종합기술원, Material and Device Research Center, display Lab) ;
  • 이내성 (삼성종합기술원, Material and Device Research Center, display Lab)
  • Published : 2000.02.01
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Abstract

FED(Field emission display)의 FEAs(Field emitter arrays)에 형성되어 있는 micro-tip 은 tip 표면의 오염이나 진공내부의 잔류가스에 대단히 민감하다. 특히, emitter 물질의 일함수 및 겉모양 같은 기하학적 요소에 민감한 전계방출 소자의 특성상 tip 선단이 oxidation 될 경우 일함수가 증가하여 전자방출에 필요한 구동전압이 증가하고 전자 방출의 불균일성이 커지는 문제점이 발생한다. 이에 고진공의 동작 환경 및 FEAs 제작과정이나 공기의 노출에 발생하는 tip 표면의 오염물질 제거가 요구된다. 따라서 본 연구에서는 40$\times$40mm2 FEAs에 laser power, scan speed을 달리하며 laser(cw Nd-YAG, 1064nm)을 조사하였다. laser cleaning 효과를 보기 위해 laser irradiation 전, 후에 진공도 5$\times$10-7torr irradiation 후에 emitter tip의 뚜렷한 기하학적 모양의 변화를 볼 수는 없었지만, I-V 특성이 향상 되는 것을 볼 수 있었다.

Keywords