한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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- Pages.50-50
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- 2000
ZEUS Co. Ltd
초록
당사는 1970년 제우스 콤 상사로부터 출발하여 1988년 12우러 주식회사 제우스로 법인 전환한 후 현재 한국반도체 산업협회 및 회원으로 등록 활동하고 있다. 이번 발표에서는 회사에 대한 소개와 함께 취급품목을 설명하고자 한다. 취급품목은 Ion beam sources(CSC), E-beam evaporator & E-beam source(Temescal), Residual Gas Analyzer(SPECTRA), Cryopump & Waterpump(CTI-Cryogenics), Thickness Monitor & Controller, Electrical Feedthrough, RTP system, Thin Film Analyzer, PECVD, RIE 등이다.
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