Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2000.07c
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- Pages.2221-2223
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- 2000
Ultra-fine barrier ribs manufactured by LIGA process
LIGA공정을 이용한 정밀 미세 격벽(barrier ribs) 성형용 금형 제작
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Cho, Jin-Woo
(Korea Electronics Technology Institute) ;
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Hong, Sung-Jae
(Korea Electronics Technology Institute) ;
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Park, Soon-Sup
(Korea Electronics Technology Institute)
- Published : 2000.07.17
Abstract
본 연구에서는 새로운 개념의 초정밀 가공기술인 LIGA 기술(이하 X-선 가공기술이라 함)을 이용하여 정밀 격벽(barrier ribs) 성형용 Ni 금형을 제작하였다. 먼저 X-ray 투과도가 우수하며 내구성 및 기계적 강도가 뛰어난 새로운 재질의 graphite X-선 마스크를 제작하였으며 한정된 단위면적의 X-선 마스크를 이용하여 X-선 노광 면적을 최대화 할 수 있는 새로운 X-선 exposure 기술을 개발하였다. 제작된 barrier ribs 성형용 초정밀 금형의 전체 size는 170mm X 130mm이며 pitch 간격은 110/55
Keywords