Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Development of the SECS Protocol between Equipments and a Host in a Semiconductor Process

반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간 SECS 프로토콜 개발

  • Kim, Dae-Won (Department of Information Control Engineering, MyongJi University) ;
  • Jeon, Jong-Man (Department of Information Control Engineering, MyongJi University) ;
  • Lee, Byong-Hoon (Department of Information Control Engineering, MyongJi University) ;
  • Kim, Hong-Seok (KITECH) ;
  • Lee, Ho-Gil (Department of Information Control Engineering, MyongJi University)
  • 김대원 (명지대학교 정보제어공학과) ;
  • 전종만 (명지대학교 정보제어공학과) ;
  • 이병훈 (명지대학교 정보제어공학과) ;
  • 김홍석 (한국생산기술연구원) ;
  • 이호길 (명지대학교 정보제어공학과)
  • Published : 2000.07.17
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

본 논문에서는 반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간에 통신을 할 수 있는 SECS(SEMI Equipment Communications Standard) 프로토를의 개발을 제안한다. SECS 프로토콜은 메시지 전송을 위한 헤더 부분을 정의하는 SECS-I 프로토콜과 메시지 내용을 정의하는 SECS-II 프로토콜로 나뉘어지는데, RS232 시리얼 통신을 하는 SECS-I 프로토콜 대신에 이더넷(ethernet)을 통해 TCP/IP 통신을 할 수 있는 HSMS 프로토콜을 구현하고자 한다. HSMS(High-speed SECS Message Services)프로토콜은 SECS-I과 마찬가지로 SECS-II 메시지 내용을 전송 할 수 있도록 10바이트 크기의 헤더로 정의된다. HSMS 프로토콜 통신은 TCP/IP를 기반으로 하기 때문에 SECS 메시지 전송을 위한 통신 선로를 설정하기 위해 소켓 API를 응용하고 항상 통신 대기상태를 유지하기 위해 데몬(daemon) 형태로 구성한다. 실제 메시지 내용을 정의하고 있는 SECS-II 프로토콜은 데이터 인덱스 테이블과 표준에 정의된 형식에 맞게 파일형태나 DLL(Dynamic Link Library)형태로 구성하고 프로세스 프로그램(process program)을 수행하기 위해 SECS 프로토콜 표준에서 정의하는 SML(SECS Message Language)형식으로 변환 할 수 있는 스크립트 변환기(script translator)를 구현한다. 또한 HSMS 프로토콜이 전송할 SECS-II 메시지를 저장하기 위한 파라미터를 정의하고 실제 통신을 위한 테스트 베드를 위한 응용 프로그램을 제작한다

Keywords