Fabrication of PVDF Line Focus Ultrasonic Transducer and its Application II. Applicatin to LSAW Measurement

직선집속 PVDF 초음파트랜스듀서의 제작과 응용 II. 누설탄성표면파 측정에의 응용

  • 윤혁준 (부경대학교 대학원 음향진동공학과) ;
  • 하강열 (부경대학교 물리학과) ;
  • 김무준 (부경대학교 물리학과)
  • Published : 1999.07.01

Abstract

제작되어진 LFB PVDF 초음파트랜스듀서를 이용하여 누설탄성표면파(Leaky Surface Acoustic Wave : LSAW)측정을 하였다. 시료로서는 $SiO_2$, Al, Cu등을 사용하였고, 측정방법으로써는 초점면에 위치한 시료를 트랜스듀서 쪽으로 접근시켰을 때 LSAW가 트랜스듀서의 중심축을 통과한 후 시료표면에서 반사되어오는 종파와 분리되어지는 현상을 이용하였다. 실험결과는 Campbell and Jones의 이론에 의한 해석결과와 비교 분석하였는데 매우 잘 일치됨을 알 수 있었다.

Keywords