한국전자현미경학회:학술대회논문집
- 한국현미경학회 1999년도 제30차 추계학술대회
- /
- Pages.54-58
- /
- 1999
변형량이 걸린 반도체 이종 접합 구조에서의 성장 방식 변화에 대한 투과 전자 현미경 연구 방법
Investigation method of the growth mode transition in a strained semiconductor heterostructure by transmission electron microscopy
초록
GaAs 위에 증착된 ZnTe 박막의 계면 구조를 투과 전자 현미경을 이용하여 관찰하였다. 2-빔 조건을 사용하여 관찰된 계면에서 모아레 즐무늬가 관찰되었으며, 이러한 모아레 줄무늬의 생성원리를 규명하였다. 또한 고분해능 투과 전자현미경상으로부터 얻어진 결과와 비교하여 ZnTe의 성장방식 전이 및 섬 구조를 가지는 ZnTe 박막의 여러 가지 구조적 성질들 - 섬의 크기, 변형량,
키워드