한국전자현미경학회:학술대회논문집

한국현미경학회 (Korean Society of Microscopy)
권호 표지

열처리에 따른 Reactive DC 마그네트론 스퍼터로 증착한 $CeO_2$ 박막의 미세구조와 전기적 특성 평가

The Study of Microstructure and Electrical Properties Of $CeO_2$ Thin Films Deposited By D.C. Magnetron Sputte Upon Annealing

  • 정윤하 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 강성관 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 남석우 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 고대홍 (연세대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 1999.11.01
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