활성화이온(${N_2}^+$)빔 (Reactive ion Beam) 처리한 사파이어 기판에 성장시킨 GaN박막의 격자 결함 및 변형량 관찰

• 김현정 (고려대학교 재료공학과) ;
• 김긍호 (한국과학기술연구원) ;
• 변동진 (고려대학교 재료공학과) ;
• 금동화 (한국과학기술연구원)

• Kim, Hyeon-Jeong ;
• Kim, Geung-Ho ;
• Byeon, Dong-Jin ;
• Geum, Dong-Hwa

• 발행 : 1999.05.01

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