Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1999.11d
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- Pages.1164-1166
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- 1999
Fabrication of Microlenses by X-ray Lithography
X-선 사진식각공정을 이용한 마이크로렌즈의 제작
- Jung, S.W. ;
- Park, K.B. ;
- Kim, K.N. ;
- Lee, B.N. ;
- Kim, I.H. ;
- Moon, H.C. ;
- Park, H.D. ;
- Hong, S.J. ;
- Park, S.S. ;
- Shin, S.M.
- 정석원 (전자부품연구원) ;
- 박광범 (전자부품연구원) ;
- 김건년 (전자부품연구원) ;
- 이보나 (전자부품연구원) ;
- 김인회 (전자부품연구원) ;
- 문현찬 (전자부품연구원) ;
- 박효덕 (전자부품연구원) ;
- 홍성제 (전자부품연구원) ;
- 박순섭 (전자부품연구원) ;
- 신상모 (전자부품연구원)
- Published : 1999.11.20
Abstract
본 연구에서는 3차원 회전체 구조물을 제조하기 위해 회전노광장치를 설계하여 제작하고 마이크로렌즈 제작용 X-선 마스크와 PMMA 기판을 정밀하게 회전시켜 노광함으로써 3차원의 마이크로렌즈를 제작하였다. 제작된 마이크로렌즈의 크기는 직경이
Keywords