Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1999.11d
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- Pages.1140-1141
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- 1999
The fabrication of high aspect ratio microstructures by negative photosensitive glass process
Negative photosensitive glass process에 의한 high aspect ratio 마이크로 구조물의 제조
Abstract
유리 및 세라믹 미세구조물은 열적, 화학적, 기계적특성이 우수하며 이 제조방법으로 대표적인 것이 그라스의 노광, 열처리에 의한 노광부를 선택적으로 에칭시켜 구조물을 형성시키는 감광성그라스 공정이다. 그러나 공정조건을 변화시킴에 따라 기존과는 정반대로 비노광부를 선택적으로 에칭시키는 것이 가능하였으며 본 방식에 의해서 더욱 정밀한 미세구조물을 형성할 수 있음을 확인하였다.
Keywords