한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)

권호 표지

고속.저온 스퍼터링법으로 제작된 ZnO 박막의 c-축 배양성

C-axis Orientation of ZnAO Thin Films Prepared by High speed and Low temperature Sputtering Method

금민종 (경원대학교) ;
손인환 (신성대학) ;
장경욱 (경원전문대학) ;
최형욱 (경원대학교) ;
김경환 (경원대학교)

발행 : 1999.10.01

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