Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

1999.10a
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Pages.76-78
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1999

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)

권호 표지

A Study on Atomic Bonding Structure of a-C:H Thin Films Prepared by ECR-PECVD Method

ECR-PECVD 방법으로 제작된 a-C:H 박막의 결합구조에 관한 연구

손영호 (포항산업과학연구원) ;
박형국 (포항산업과학연구원) ;
정재인 (포항산업과학연구원) ;
박노길 (식품의약품안전청) ;
황도원 (알파플러스) ;
김인수 (경운대학교) ;
배인호 (영남대학교)

Published : 1999.10.01

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