Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

1999.10a
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Pages.47-48
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1999

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)

권호 표지

Effects of the substrate temperature and heat treatment on properties of ITO films deposited with powdery target

분말 타겟을 이용하여 제조한 ITO 박막의 물성에 미치는 기판온도 및 열처리 효과

이재형 (성균관대학교) ;
박용관 (성균관대학교) ;
신재혁 (기술표준원) ;
신성호 (기술표준원) ;
박광자 (기술표준원) ;
이주성 (한양대학교)

Published : 1999.10.01

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Abstract

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