Fabrication of Diamond Thin Film by RF Plasma CVD

RF플라즈마 기상증착법에 의한 다이아몬드 박막 제조

  • 김경례 (단국대학교 자연과학부 응용물리전공) ;
  • 김용진 (단국대학교 자연과학부 응용물리전공) ;
  • 현준원 (단국대학교 자연과학부 응용물리전공)
  • Published : 1999.10.01