Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

1999.05a
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Pages.146-147
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1999

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)

권호 표지

The study of $Fe_2O_3$ application as a etching mask materials of GaN

GaN 식각 mask로 $Fe_2O_3$의 응용에 관한 연구

성연준 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
박준용 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
이용혁 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
염근영 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
이재원 (삼성종합기술원 광반도체 연구실) ;
김태일 (삼성종합기술원 광반도체 연구실)

Published : 1999.05.01

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Abstract

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