MEMS 구조물에 무전해 니켈도금의 응용

Application of Electroless Nickel Plating on MEMS Micro-Structure

  • 허진 (홍익대학교 금속재료공학과) ;
  • 이재호 (홍익대학교 금속재료공학과)
  • 발행 : 1999.05.01